退火炉操作规程

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。那么退火炉的操作规程有哪些？

退火炉的操作规程：

一、 退火炉装炉前的检查和准备工作

1、检查冷却循环水系统是否正常，进水、回水闸门是否打开。流经循环风机、炉门的冷却水是否畅通，有无漏水现象，冷却水压力是否达到0.1～0.3Mp，水温低于25℃，水量是否合适。

2、检查风压系统是否正常，管道有无漏气现象，风压是否达到0.4～0.6Mp，炉门气缸工作是否正常。

3、检查电气设备、仪表工作是否正常，热电偶是否完好，有无短路现象，测温是否准确。

4、检查炉门提升机构工作是否正常，链条、钢丝绳有无损坏、断丝。炉门升降应无卡阻、碰撞现象，机构动作必须灵活，炉门安全销伸缩自如，上下行程开关工作灵敏可靠。

5、检查循环风机、吹洗风机轴承润滑是否良好，转动是否正常，有无杂音。

6、清除炉子周围的障碍物、易燃物。将炉膛内、铝卷、小车及小车轨道内的铝屑、脏物清扫干净。

二、退火炉进出炉操作规程

1、装炉前应按生产工艺卡片要求，认真核对带卷或垛板的合金牌号、批号、规格、状态、重量，按要求填写记录。

2、装料时一定要装正，带卷上下左右前后基本对称，卷与卷之间间隙基本一致，不允许超重、超长、超宽、超高。退火时卷与卷、垛与垛的重量差要尽量小（卷与卷的重量差小于1 T，垛与垛的重量差小于0.5T）。特殊情况时，考虑装炉的经济性，可将不同厚度、不同重量的成品装在一炉内退火，但必须分区控制温度，有重量差时应将热电偶插在小卷或小垛上。

3、正确安插热电偶。热电偶的安插深度为：卷材25～30mm，板材≮50mm。其安插位置必须位于卷或垛的中心位置，并要求安插牢靠，不漏气，无短路现象。

4、打开炉门。首先松开炉门压紧装置，将炉门提升到上极限位置，并插好安全销。

5、进炉过程。

（1）10T炉应先把小车和料车间的销子插好，然后开动小车，把料车推进炉膛内，等料车到位停稳后拔出销子，最后把小车开出炉膛停在原定的位置上。

（2）20T炉应先接通卸料车电源，启动油泵电机，用顶升机构将装有工件的料盘顶升到上限位，然后把卸料车开入炉膛内到正确位置，并将料盘放在炉膛内的立柱上，待料盘放稳后，把卸料车开出炉膛外停在原定的位置上，并关停油泵及卸料车电源。

6、关闭炉门。等小车停稳后，拔出炉门安全销，降下炉门到下极限位，并用气缸压紧炉门。炉门压紧应均匀、密封，无明显漏气现象。

7、出炉过程与进炉过程的操作程序相反。

三、退火炉温控系统操作规程

1、应先确认炉门关闭密封完好，检查电气系统正常后，方可操作。

2、先逐个启动每区的轴流风机。

3、启动每区的循环风机，等到电机电流稳定后，再启动另一台风机，保证每一区的风机稳定运转。

4、按生产工艺卡片的工艺要求，在温控智表上输入工艺控制参数。

5、打开排烟阀门，启动吹洗风机。（10T炉排烟道无阀门）

6、接通加热器的电源开关，按规定的温度曲线进行控制退火。

7、退火过程中要经常检查电器、机械运转情况，如加热器、循环风机、轴承等。

8、退火过程中注意各区的金属温升情况，操作手可根据具体情况小范围调整炉气温度（一般在±10℃左右），保证每区的温度大到一致。

9、若在规定时间内，金属温度超过金属温限上限，可适当冷却，若未达到金属温下限，则可延长保温时间，直到达到金属温限。

10、退火结束后，依次停加热器、轴流风机、吹

风机、循环风机。打开炉门出炉。

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